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      邁達普科技

      產品服務PRODUCT

      3D非接觸測量設備

      英文名稱:Non-contact 3D Profiler

      產品應用:設備主要應用于IC載板生產過程中需要的一些3D方面的數據量測,例如: 激光鉆孔孔徑孔型的量測,蝕刻后線寬線距線高的量測,壓合前棕化面粗糙度的聯測,銅面金面阻焊等表面的粗糙度量測,鍍銅盲孔凹陷的量測等

      制造廠家:NANO SYSTEM

      產       地:韓國

      服務熱線:0755-2996 9595

      產品說明
      1、產品應用
      設備主要應用于IC載板生產過程中需要的一些3D方面的數據量測,例如激光鉆孔孔徑孔型的量測,蝕刻后線寬線距線高的量測,壓合前棕化面粗糙度的聯測,銅面金面阻焊等表面的粗糙度量測,鍍銅盲孔凹陷的量測等等

      2、產品規格

      測量精度:WSI:<0.5nm PSI:<0.1nm
      工作臺面:610×610mm (可定制)
      掃描范圍:0-270um(Z方向)
      光學放大倍數:X5 , X10 , X20 , X50

      3、產品特點
      高精度快速測量
      優越的重復性和再現性
      有實驗室量測,產線全自動量測滿足需求
      報告生成,數據反饋功能
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